氣體質(zhì)量流量控制器（MFC)/氣體質(zhì)量流量計(jì)(MFM)主要是熱式工作原理、差壓式工作原理和科里奧利工作原理，其中熱式原理的氣體質(zhì)量流量控制器（MFC)/氣體質(zhì)量流量計(jì)(MFM)采用溫度變化對(duì)應(yīng)于質(zhì)量流量的原理，可以對(duì)不同的氣體進(jìn)行流量量測(cè)及控制，所以氣體質(zhì)量流量控制器的應(yīng)用在工業(yè)中比較廣泛，作為一個(gè)相對(duì)精密的儀器，想要儀器有一個(gè)相對(duì)長(zhǎng)久的使用壽命，就離不開(kāi)我們?cè)谑褂眠^(guò)程中做好維護(hù)，而且也要做好記錄。氣體質(zhì)量流量控制器（MFC)/氣體質(zhì)量流量計(jì)(MFM)使用一段時(shí)間后需定期的對(duì)氣體質(zhì)量流量控制器拆開(kāi)進(jìn)行內(nèi)部的氣路進(jìn)行清理，在檢查是否有受損的零件；檢查氣體質(zhì)量流量控制器的管道剛性是否是缺乏的狀態(tài)，避免作業(yè)時(shí)出現(xiàn)振蕩現(xiàn)象；氣體質(zhì)量流量控制器里外的污染清理，避免密封面的損壞；質(zhì)量流量控制器的壓力、流量等在所能測(cè)試的范圍：各類(lèi)質(zhì)量流量控制器都有其固定的檢測(cè)壓力、流量范圍，在其測(cè)定范圍內(nèi)完成測(cè)量，才能保證質(zhì)量流量控制器準(zhǔn)確地進(jìn)行測(cè)定。氣體質(zhì)量流量控制器（MFC)/氣體質(zhì)量流量計(jì)(MFM)的校準(zhǔn)和檢測(cè)與同其它的分析檢測(cè)儀器一樣，都是用相對(duì)比較的方法進(jìn)行測(cè)定的。因此，對(duì)氣體質(zhì)量流量控制器進(jìn)行校零，經(jīng)常性對(duì)儀器進(jìn)行校準(zhǔn)都是保證儀器測(cè)量準(zhǔn)確的*的工作。綜上所述，我們?cè)谑褂脷怏w質(zhì)量流量控制器（MFC)/氣體質(zhì)量流量計(jì)(MFM)時(shí)，需要精心的維護(hù)，一旦發(fā)生儀器故障時(shí)可以及時(shí)查找到其原因。而且我們要注意的時(shí)，一旦儀器發(fā)生了故障，那么我們盡量找到原廠(chǎng)的氣體質(zhì)量流量控制器廠(chǎng)家進(jìn)行維修減少損失。